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硅片拋光機(jī)加工小心化學(xué)腐蝕
發(fā)布時(shí)間：2014-8-4 15:58:46
來(lái)源：nnruiyuan.com
作者：亞峰機(jī)械
硅片拋光機(jī)加工前先將硅單晶棒研磨成具有精確直徑的單晶棒,再沿單晶棒的晶軸方向研磨出主、次參考面,用氫氟酸、硝酸和冰醋酸的混合液腐蝕研磨面，稱為減徑腐蝕。
硅片拋光機(jī)加工過(guò)多，硅表面的化學(xué)腐蝕一般采用濕法腐蝕，硅表面腐蝕形成隨機(jī)分布的微小原電池，腐蝕電流較大，一般超過(guò)100A/cm2，但是出于對(duì)腐蝕液高純度和減少可能金屬離子污染的要求，目前主要使用氫氟酸（HF）,硝酸(HNO3)混合的酸性腐蝕液，以及氫氧化鉀(KOH)或氫氧化鈉（NaOH）等堿性腐蝕液�，F(xiàn)在主要用的是HNO3-HF腐蝕液和NaOH腐蝕液。
溫馨提示：東莞亞峰機(jī)械有限公司專業(yè)生產(chǎn)銷售拋光機(jī)，切管機(jī)，卷邊機(jī)，旋壓機(jī)，滾牙機(jī)等產(chǎn)品。在十年的奮斗中，公司不斷加大技術(shù)投入，努力開發(fā)新產(chǎn)品，不斷提高產(chǎn)品質(zhì)量和產(chǎn)品檔次。為贏得新老客戶的依賴，打下了堅(jiān)實(shí)的基礎(chǔ)。詳情請(qǐng)咨詢：13609472075 涂先生。
